清華大學(xué)微電子所高純水站產(chǎn)水用于超大規(guī)模型集成電路(VLSI)清洗工序,水處理 工藝采用了RO和EDI聯(lián)合處理工藝,是目前流行環(huán)保型新工藝,由北京化工大學(xué) 設(shè)計(jì)。 2.設(shè)計(jì)原始資料
包括水箱、水泵、絮凝劑加藥計(jì)量泵、管道混合器、多介質(zhì)過濾器及反沖洗泵等設(shè)備 水箱V=15m3/h, H=539kPa, 2臺(tái).
絮凝劑投加裝置包括藥箱、隔膜加藥泵(電磁隔膜泵),PSC投加量為10mg/La.
管道混合器可使原水與絮凝劑快速充分混合生成絮狀物。
多介質(zhì)過濾器,流量為17.6m3/h,濾速為8m/h,2臺(tái)((1用1備),除去懸浮物和膠體。
反沖洗泵為立式多級(jí)泵,每次反沖洗10min
5um微濾裝置用于保證反滲透的進(jìn)水SDI達(dá)到其規(guī)定值,即SDI< 4
包括高壓泵、反滲透組件、清水系統(tǒng)及中間水箱等。
高壓泵為反滲透運(yùn)行提供所需的進(jìn) 水壓力,Q=18m3/h,H=1 .2MPa,2臺(tái)。
反滲透系統(tǒng)采用一級(jí)2段脫鹽,1段反滲透壓力容器按2:1排列,2段反滲透壓力容器 按1:l排列,共5個(gè)壓力容器,1段產(chǎn)水量為13. 2m3 /h,回收率為75環(huán),2段產(chǎn)水量為 11. 2m3 /h,回收率為8500。反滲透組件選用美國海德能公司主產(chǎn)的芳香族聚酞胺膜ESPA3 型膜組件,它是超低壓節(jié)能型復(fù)合膜,其外徑/長度=F201. 9mm/1016mm,有效膜面積為 37. 16m2,脫鹽率98%,操作壓力1. 05MPa。反滲誘主要去除水中溶解鹽類,同時(shí)去除大分子有機(jī)物及前段剩余的小微粒等。
為了確保反滲透系統(tǒng)的正常運(yùn)行,在反滲透前設(shè)UV殺菌器,UV殺菌器的處理量為17.6M3 /h,波長為254m,強(qiáng)度為30000uW s/ cm2,殺菌率為99%。并設(shè)阻垢劑投加系統(tǒng),阻垢劑采用Flocon260型,投加量為2.4mg/L,或PTPO100型.投加量為1mg/L。為 去除CO2,在兩段反滲透之間投加NaOH,調(diào)節(jié)一段反滲透出水pH值為7.83, NaOH設(shè) 計(jì)投加量為4. 5mg/L。反滲透產(chǎn)水存人中間水箱。
乏滲透系統(tǒng)還設(shè)有清洗系統(tǒng),包括水箱、清洗泵、5um過濾器等,同時(shí)也可用于對(duì)電 去離子裝置進(jìn)行清洗。
兩段反滲透出水水質(zhì)為:電導(dǎo)率<uS/cm, SiO2<500ug/L, TOC<50tcg/La
它包括中間泵、電去離子裝置、脫氧膜組件及真空泵等 中間泵為電去離子和脫氧膜裝 蒙提供動(dòng)力升壓,采用立式多級(jí)泵2臺(tái)((1用1備),Q為112m3/L, H為490kPa
選用流量為11. 46m3 /h的電去離子組件,其產(chǎn)水量為10. 7m’ /h,回收率為95%電去
離子為進(jìn)水組件。電去離子產(chǎn)水水質(zhì)為:電阻率>1. 75M歐cm, SiO2 <20ug/L,系統(tǒng)設(shè)有一臺(tái)脫氧膜組件,產(chǎn)水量為10. 7rn3 /h,包括6根脫氧膜組件,4X28-X4型,分兩組,每 三段串聯(lián),除氧率為99. 58%,出水含氧量為30ug/L.以下。脫氧膜配有一臺(tái)2BV5型液環(huán) 式真空泵,真空值為6. 65kPa,抽真六體和汽且為120m3 /h-
(4>循環(huán)后處理系統(tǒng)
包括高純水箱、高純水泵、去除TOC的185nm UV裝置、高純水設(shè)備清混床、超濾設(shè)備、 回水UV殺菌器、回水背壓閥等。
高純水泵系立式多級(jí)泵,Q為13.8M3/h, H為735kPa, 2臺(tái)((1用1備),采用變頻供水,壓力0.25MPa
185nm UV殺菌器處理水量為13. 8m3 /h,照射強(qiáng)度C80000uw s/m2,出水TOC<10ug/L
高純水設(shè)備精混床分兩組,每組3臺(tái)串聯(lián),共6臺(tái),單臺(tái)產(chǎn)水量為5m3 /h,設(shè)計(jì)流速為 40m/h,出水電阻率>18M歐 cm.
終端采用中空纖維式NTU-3306-K6R型超濾裝置1臺(tái), 大產(chǎn)水量為15 M3 ,切割分子量6000
回水UV殺菌裝置,處理水量3m3/h ,照射強(qiáng)度上<30000uW s/cm2, 使用壽命8750h. 殺菌率>99%。純水箱用氮密封以防再污染。
回水背壓閥可保證用戶用水點(diǎn)的水壓穩(wěn)定。
終出水水質(zhì):TOC<2ug/L,電阻率>18M歐 cm,溶解氧<4ug/L
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