超純水系統(tǒng)用于電子工業(yè)、電廠高壓鍋爐、制藥等。水的電阻率要求接近18MΩ· cm、電解質(zhì)含一量10 -- 20μg/L，水的純度為99.99999%。超純化水設(shè)備的制備一般包括預(yù)處理、除鹽、后處理三道工序，目前使用反滲透(RO)和超過(guò)濾(UF)聯(lián)合技術(shù)是深圳純水制備*系統(tǒng)。反滲透能除去90%以上的總?cè)芙恹}、95%以上的溶解有機(jī)物、98%以上的微生物及膠體。超濾和微濾( MF)可將系統(tǒng)中產(chǎn)生的微粒、細(xì)菌除去，有效地保證終端用水的水質(zhì)。從超工業(yè)純水設(shè)備制造的典型的超純水制造工藝流程(圖1)和基本流程(圖2）可見(jiàn)，膜清洗技術(shù)在超純水制造中至關(guān)重要。預(yù)處理通常是由凝聚、過(guò)濾和殺生組成，近年來(lái)以微濾、超濾來(lái)替代，大大簡(jiǎn)化預(yù)處理過(guò)程。

超純水制造中RO膜以聚酰胺卷式組件為主，操作壓力1. 47MPa的低壓下可除鹽99. 5 %以上。二級(jí)純水時(shí)要求能脫除TOC的復(fù)合膜。